Vakum fırını genellikle ana motor, fırın odası, elektrikli ısıtma cihazı, kapalı fırın kabuğu, vakum sistemi, güç kaynağı sistemi, sıcaklık kontrol sistemi ve harici taşıma aracından oluşur. Kapalı fırın kabuğu karbon çeliği veya paslanmaz çelikten kaynaklanır ve çıkarılabilir parçaların birleşim yüzeyleri vakum sızdırmazlık malzemesi ile kapatılır. Fırın kabuğunun ısıtıldıktan sonra deforme olmasını ve sızdırmazlık malzemesinin ısıtıldığında bozulmasını önlemek için fırın kabuğu genellikle su veya hava soğutmasıyla soğutulur. Fırın odası kapalı bir fırın kabuğunun içinde bulunur. Fırın amacına bağlı olarak fırın odası dirençler, indüksiyon bobinleri, elektrotlar ve elektron tabancaları gibi farklı tipte ısıtma elemanları ile donatılmıştır. Metal eritme için kullanılan vakum fırınları pota ile donatılmıştır ve bazıları yükleme ve boşaltma için otomatik dökme cihazları ve manipülatörler ile donatılmıştır. Vakum sistemi esas olarak bir vakum pompası, bir vakum valfi ve bir vakum göstergesinden oluşur.