Özellik
● Maksimum sıcaklık RT-1200 derece
● Split tip fırın, fırını açabilirsiniz.
● Mekanik pompa ve sinyali güçlendirmek için 500W RF güç kaynağı kullanarak 10Pa vakum derecesinde 2'den fazla gaz kanalı tanıtılabilir.
● Yüksek kaliteli performans alümina seramik elyaf yalıtım malzemeleri
● Sıcaklık kontrol hassasiyeti ±1 derece
● Aşırı sıcaklık alarm fonksiyonu ile
● Soğutma fanı kasanın sıcaklığını azaltabilir
|
Örnek |
SK2-CVD-12TPB4 |
|
Boyutlar: Standart Isıtma bölgesi uzunluğu (mm) |
440 milyon |
|
Boyutlar: Standart Boru çapı (mm) |
∮60mm |
|
Maksimum sıcaklık |
1200 derece, Sürekli çalışma sıcaklığı 1100 derece. |
|
Voltaj(V) |
220 1P |
|
Termokupl tipi |
K |
|
Isıtma elemanı |
HRE Alaşımlı direnç teli |
|
Sıcaklık Hassasiyeti |
±1 derece |
|
Isınma oranı |
0-30 derece /dak serbest ayarlama |
|
Oda malzemesi |
Gelişmiş yüksek kaliteli alümina mikrokristalin fiber malzeme kullanımı |
|
Fırın yapısı |
Çift katmanlı hava soğutmalı yapı, yüzey sıcaklığı 60 dereceden azdır |
|
Sıcaklık kontrolörü |
Akıllı PID sıcaklık kontrol cihazı, 30 program segmenti, SSR kontrolü, PID parametre otomatik ayarlama fonksiyonu; sıcaklık artışını programla, ısı korumasını programla, soğutmayı programla |
|
500W RF güç kaynağı |
Çıkış gücü: 5-500W ±1 derece RF frekansı: 13.56MHz ±0.005% Yansıyan güç: 100W'a kadar Eşleşme: Otomatik RF arayüzü: 50Ω, N tipi Soğutma: hava soğutma Güç kaynağı: AC 208-240V, 50/60HZ |
|
4 gaz kanallı hassas akış sistemi |
1. Tam ölçekli akış hızı (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500)ML/dak. 10L/dak. 2. Vana tipi: Solenold vana. 3. Valf dayanağı pozisyonu: Normalde kapalı. 4. Diferansiyel basınç: (50-300)kpa 5. Basınç dayanımı: 3mpa. 6. Çalışma sıcaklığı: 5-45 derece 7. Malzemeler: 316L paslanmaz çelik. |
|
Vakum sistemi |
5*10-3Pa KF25 hızlı bağlantı, paslanmaz çelik körük, manuel flapper valfi ve flanş, vakum pompası Opsiyonel olarak daha yüksek vakum sistemleri de donatılabilir.
|
|
OEM/ODM'ye HOŞGELDİNİZ |
|
Standart aksesuarlar
Termal eldiven|Pota kancası|Termokupl|Tüp Bloğu|Kullanım Kılavuzu|Araçlar|Vakum pompası|Kuvars tüp|Flanş|Sızdırmazlık halkası|10 mm gaz hortumu|Flanş desteği, Gaz sistemi, RF güç.
İsteğe bağlı
Seçiminize göre farklı ısıtma bölgesi;
Seçim için LCD dokunmatik ekran kontrolü
Bilgisayarı bağlamak için RS485/USB portu.
CVD-PECVD için detay resmi



Başvuru
Bu cihaz esas olarak nanotellerin büyütülmesi veya CVD yöntemi kullanılarak çeşitli ince filmlerin büyütülmesi için kullanılır.
Garanti
Bir yıl garanti ve ömür boyu teknik destek
Özel ipuçları:
1. Isıtma elemanı, kuvars tüp, numune potası vb. sarf malzemeleri garanti süresi içerisinde değildir.
2. Aşındırıcı gaz ve asit gazı kullanımı sonucu oluşan hasarlar garanti kapsamında değildir.
Popüler Etiketler: 1200c üç ısıtma bölgeli pecvd sistemi, Çin 1200c üç ısıtma bölgeli pecvd sistemi üreticileri, tedarikçileri





